Cuando la longitud en una dirección es menor que la longitud en las otras dos direcciones, esta estructura se denomina película delgada. Hoy en día, la aplicación continua de películas microelectrónicas, películas ópticas, películas antioxidantes, películas magnetorresistivas gigantes, películas superconductoras de alta -temperatura, etc. en la producción industrial y la vida humana, el espesor de las películas producidas en la industria es un parámetro muy importante, directamente relacionado con si el material de la película puede funcionar normalmente.
Normalmente, el espesor de la película se refiere a la distancia entre la superficie del sustrato y la superficie de la película. De hecho, la superficie de la película es desigual y discontinua, y hay poros, microgrietas, filamentos de fibra, impurezas, defectos de red y moléculas adsorbidas en la superficie. Por ejemplo, varias películas delgadas en el proceso de producción de circuitos integrados-a gran escala tendrán un impacto directo en el rendimiento de los circuitos integrados debido a la mejora continua del grado de integración del circuito y cualquier pequeño cambio en el espesor de la película delgada. Además, las propiedades mecánicas, propiedades de transmisión de luz, propiedades magnéticas, conductividad térmica, estructura superficial, etc. de los materiales de película delgada están estrechamente relacionadas con el espesor. Por lo tanto, la medición precisa en línea del espesor de la película en el proceso de producción es un medio importante para garantizar la calidad del producto y mejorar la eficiencia de la producción.
Para una medición precisa del espesor de la película, depende del tipo de sensor de espesor que se utilice. En la actualidad, existen principalmente varios métodos para la tecnología de detección del espesor de la película en línea:
1. La sonda Beta es el primer sensor utilizado para la detección de películas finas. Utiliza una fuente de radiación beta como fuente de señal y la tecnología está madura. Sin embargo, se requiere una licencia para el uso de fuentes radiactivas y los procedimientos de importación y exportación son relativamente complicados. Hay un límite de media-vida útil y la precisión de la detección disminuirá con la atenuación de la fuente radiactiva.
2. Las sondas infrarrojas utilizan el principio de que bandas infrarrojas específicas se absorben fuertemente en películas plásticas específicas para medir el espesor de la película. El sensor tiene una detección estable y no se ve afectado por los cambios en el medio ambiente, pero es sensible a los cambios en los aditivos y colores, y no es adecuado para producir múltiples productos en la misma línea de producción.
3. La sonda de rayos X-utiliza el tubo de rayos X-para generar rayos X-como fuente de señal para detectar el espesor de la película plástica. Hay muchas ventajas: volar materiales radiactivos; baja energía no requiere licencia; un amplio rango de medición; alta precisión de medición; Se pueden medir todo tipo de plásticos sin verse afectados por aditivos y masterbatch de color.
En la actualidad, el instrumento de medición del espesor de película se ha desarrollado con alta precisión y automatización, y ha alcanzado un nivel muy alto. Su precisión de medición es de ±2 % a ±5 % del espesor de película medido para la capa de película general y ±2 nm para la película delgada, y tiene función de medición de microárea, velocidad de medición rápida y alto grado de automatización. Especialmente con el avance de la tecnología y la aplicación de instrumentos de precisión, además de los métodos tecnológicos de detección anteriores, el espesor de la película también se puede medir mediante un sensor ultrasónico. El sensor ultrasónico MaxBotix recomendado por Gongcai-MB7480 es un medidor de distancia ultrasónico de precisión de alto rendimiento que puede proporcionar una medición de distancia ultrasónica de alta precisión y alta resolución en el aire.
